Личный кабинет
Компания Infinitesima объявила о трехлетнем проекте разработки с партнерами, включая ASML. Встраиваемая метрологическая система Metron3D 300 мм будет использоваться для оптимизации и изучения метрологических решений для передовых приложений, включая гибридное склеивание, литографию EUV с высоким содержанием NA и структуры 3D-логических устройств, такие как комплементарные полевые транзисторы (CFET). Этот проект объединит обширный опыт партнеров по проекту с технологией быстрого зондового микроскопа (RPM) компании Infinitesima, что обеспечит углубленное 3D-обнаружение поверхности, высокоскоростную визуализацию и интерферометрическую точность. Это позволит удовлетворить насущную потребность отрасли в подробной 3D-метрологической информации по всей структуре элементов с высокой пропускной способностью и в условиях большого объема производства.
В рамках этого проекта компания разместит инструмент в imec, ведущем мировом центре исследований и инноваций в области наноэлектроники и цифровых технологий. Система будет использоваться для продвижения разработки устройств следующего поколения партнерами, включая ASML, для продолжения определения характеристик и разработки изображений с высоким сопротивлением NA EUV. Компания будет тесно сотрудничать с imec для разработки новых возможностей инструментов и усовершенствований. Эти совместные усилия направлены на обеспечение подлинного 3D-управления процессами, что имеет решающее значение для облегчения производства будущих полупроводниковых устройств.
Партнерство компании с imec началось в 2021 году, начавшись с разработки наноразмерного томографического зондирования, индуцированного зондом, с использованием запатентованной технологии RPM для исследований и анализа отказов. Это новое сотрудничество знаменует собой расширение партнерства Infinitesima-imec в области высокоскоростной поточной производственной метрологии, поддерживая растущие потребности полупроводниковой промышленности в контроле и метрологии, особенно в субнанометровых элементах и все более сложных 3D-структурах.
«Мы рады расширить наше существующее сотрудничество с imec для поддержки критических метрологических задач некоторых из наиболее важных этапов процесса производства полупроводников следующего поколения», — сказал Питер Дженкинс, генеральный директор Infinitesima.
Загрузка